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半導(dǎo)體激光吸收光譜(TDLAS)技術(shù)利用激光能量被氣體分子“選頻”吸收形成吸收光譜的原理來(lái)測(cè)量氣體濃度。由半導(dǎo)體激光器發(fā)射出特定波長(zhǎng)的激光束(僅能被被測(cè)氣體吸收),穿過(guò)被測(cè)氣體時(shí),激光強(qiáng)度的衰減與被測(cè)氣體的濃度成一定的函數(shù)關(guān)系,因此,通過(guò)測(cè)量激光強(qiáng)度衰減信息就可以分析獲得被測(cè)氣體的濃度,TDLAS技術(shù)可實(shí)現(xiàn)多種氣體如CO、CO2、O2、HF、HCl、CH4、NH3、H20、H2S、HCN、C2H2、C2H4等的自動(dòng)檢測(cè),適用于鋼鐵、冶金、石化、環(huán)保、生化、航天等各種領(lǐng)域。
根據(jù)Beer-Lambert定律:
一束強(qiáng)度為I0的激光通過(guò)一個(gè)吸收體,其光強(qiáng)經(jīng)過(guò)氣體吸收之后變?yōu)镮,如果定義a為單位長(zhǎng)度的吸收量,則Beer-Lambert 定律可以寫(xiě)為:
I=I0e-al
如果吸收介質(zhì)為原子或者分子,則吸收系數(shù)為激光頻率的函數(shù)即a(v),可以表示為:
a(v)=SΦ(v)xp
其中:
(1)S-為吸收線強(qiáng)度;HITRAN數(shù)據(jù)庫(kù)可以查到;
(2)p-為氣體的總壓強(qiáng);
(3)Φ(v)-為線型函數(shù);跟被測(cè)氣體溫度T;壓強(qiáng)P有關(guān)系;
(4)x-為被測(cè)氣體的體積比濃度,常用ppm等表示。通過(guò)公式可以反推被測(cè)氣體濃度。
我公司研發(fā)的激光氣體分析儀主要由激光發(fā)射單元、激光接收單元構(gòu)成。發(fā)射單元和接收單元可以直接安裝在被測(cè)管道(煙道)上,也可以直接安裝在開(kāi)發(fā)空間區(qū)域,用于開(kāi)放式區(qū)域空間氣體濃度分析。激光波段可選擇為近紅外0.6-2um,或者中紅外3-8um的紅外激光光源,發(fā)射單元發(fā)射特定頻率的激光,直接穿過(guò)被測(cè)氣體,被接收單元中的傳感器接收被氣體吸收的光信號(hào),接收單元將檢測(cè)信號(hào)傳送到數(shù)據(jù)分析單元,數(shù)據(jù)單元完成對(duì)過(guò)程氣體的檢測(cè)分析和儀器輸出控制,完成氣體濃度測(cè)量。激光吸收光譜(TDLAS)氣體分析測(cè)量技術(shù)能有效解決傳統(tǒng)的氣體分析技術(shù)中存在的諸多問(wèn)題,相比于傳統(tǒng)的測(cè)量技術(shù),具有測(cè)量靈敏度高,可達(dá)到ppm甚至ppb級(jí)的測(cè)量靈敏度,不受背景氣體干擾,測(cè)量速度快,無(wú)損測(cè)量原理,產(chǎn)品生命周期長(zhǎng),免維護(hù)等優(yōu)勢(shì)。在國(guó)外已經(jīng)逐漸實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。而在我國(guó)也在逐漸開(kāi)始推廣階段,目前,我們公司已經(jīng)開(kāi)發(fā)完成針對(duì)不同工業(yè)市場(chǎng)的激光氣體分析儀產(chǎn)品,包括:用于測(cè)量O2、CO、CO2、H2S、NH3、CH4、HCL等多款產(chǎn)品。
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